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第三百章 準(zhǔn)備造芯片!

    莞市,華威公司的松山湖總部。
    坐在自己辦公室中的壬正非,當(dāng)聽(tīng)到對(duì)面問(wèn)自己對(duì)重新造麒麟9000感不感興趣時(shí),先是一愣,而后便不由笑了起來(lái)。
    這個(gè)電話(huà),大概率是來(lái)找他們要投資的,而且他這個(gè)號(hào)碼是私人號(hào)碼,估計(jì)是從他某個(gè)朋友那里得到了自己的電話(huà),然后打過(guò)來(lái)的。
    要是以往的話(huà),他肯定是直接讓這人直接去給他們?nèi)A威的輪值董事打電話(huà)了,他可沒(méi)心思去管這種事情。
    不過(guò)這次不同,對(duì)方居然張口就說(shuō)要重新造麒麟9000,倒還是讓他來(lái)了幾分興趣。
    現(xiàn)在拉投資的人都這么生猛了嗎?
    于是他便笑道:“我當(dāng)然感興趣,不過(guò),就是不知道你打算如何幫我們重新造出麒麟9000芯片啊?”
    電話(huà)那頭傳來(lái)了聲音:“呵呵,為了避免壬董以為我是在開(kāi)玩笑,所以我還是先自我介紹一下吧,我是林曉,x光計(jì)劃總設(shè)計(jì)師。”
    壬正非頓時(shí)一愣,林曉?
    x光計(jì)劃?
    他立馬從座位上站了起來(lái),說(shuō)道:“林總師?真的是你?”
    林曉笑著道:“當(dāng)然是我,如果你需要我證明一下自己身份的話(huà),那么我可以讓我們的楊凱平總師給你打一下電話(huà),楊總師現(xiàn)在就在我旁邊,你的電話(huà)也是他告訴我的。”
    壬正非思考了片刻,隨后說(shuō)道:“不用了,我相信了。”
    知道他認(rèn)識(shí)楊凱平的人又沒(méi)有多少,對(duì)方既然能說(shuō)出這件事情來(lái),那么基本上就不用質(zhì)疑對(duì)方的身份了。
    那么,照這么說(shuō)的話(huà)……
    林曉說(shuō)幫他們重造麒麟9000的事情……
    他面上頓時(shí)露出了激動(dòng)的表情,顫著聲音問(wèn)道:“這么說(shuō)的話(huà),x光計(jì)劃……成功了嗎?!”
    林曉笑道:“這件事情嘛,我暫時(shí)還不能告訴你,不過(guò),如果你相信我的話(huà),那么這幾天,你或者你讓你們?nèi)A威公司的高層來(lái)一趟定光研究所,到時(shí)候咱們開(kāi)個(gè)會(huì),然后咱們簽個(gè)協(xié)議,對(duì)了,記得把你們麒麟9000的eda文件也帶過(guò)來(lái)。”
    聽(tīng)到林曉的回答,壬正非也已經(jīng)恢復(fù)了冷靜。
    具體情況還不能告訴他,那如果見(jiàn)面之后,他再多問(wèn)問(wèn)不就行了。
    當(dāng)然,既然林曉都專(zhuān)門(mén)給他打電話(huà)了,那么大概率也說(shuō)明,x光計(jì)劃就算沒(méi)成功,距離成功也不遠(yuǎn)了。
    于是思考片刻后,他說(shuō)道:“好,我知道了。”
    隨后,他們便商量了一下見(jiàn)面的時(shí)間,確定為三天后,定光研究所。
    掛電話(huà)之前,林曉又笑著問(wèn)道:“壬董,你應(yīng)該也知道,就算x光計(jì)劃成功了,但沒(méi)有相應(yīng)的工藝,也是很難造出合格芯片的吧,你這就相信我了嗎?”
    壬正非卻是笑道:“我當(dāng)然知道,不過(guò),如果x光計(jì)劃真的能夠成功,我將我們海斯設(shè)計(jì)的所有芯片設(shè)計(jì)圖都拿給你們,讓你們用來(lái)研究生產(chǎn)工藝又如何?只要你們最終成功了,受益的也是我們?nèi)A威嘛!”
    “壬董果然是壬董,那就期待我們之后的見(jiàn)面了。”
    “哈哈,我也已經(jīng)有些等不及了,那就三天后再見(jiàn)了。”
    “嗯。”
    掛了電話(huà),林曉在心中贊嘆了一聲壬正非作為一個(gè)企業(yè)家的高明。
    顯然,如果他們能造出光刻機(jī)來(lái),華威大概是受益最大的公司了。
    所以對(duì)壬正非來(lái)說(shuō),大概投多少錢(qián),只要能夠成功,他都會(huì)愿意。
    只不過(guò),掛了電話(huà)之后,周?chē)娜司图娂姵秮?lái)了疑惑的表情。
    “林總師,你也說(shuō)了,我們完全沒(méi)有相應(yīng)的生產(chǎn)工藝,要怎么生產(chǎn)華威的芯片啊?”
    他們本來(lái)以為林曉說(shuō)國(guó)慶節(jié)造芯片,是隨便找一個(gè)比較簡(jiǎn)單的芯片,然后生產(chǎn)出來(lái)呢,結(jié)果林曉居然打算直接生產(chǎn)華威的麒麟9000?
    這怎么可能做到?!
    麒麟9000可都是5nm制程的芯片了,他們?cè)趺纯赡茏龅剑?br/>     然而,林曉只是淡然一笑,說(shuō)道:“誰(shuí)說(shuō)我們沒(méi)有相應(yīng)的生產(chǎn)工藝的?”
    在場(chǎng)的人們眼睛又是一瞪。
    “林總師……你不會(huì)想說(shuō),你連生產(chǎn)工藝的問(wèn)題都解決了吧?”
    楊凱平露出了一個(gè)難以置信的表情,看著林曉。
    林曉神秘一笑:“這件事情,暫時(shí)保密。”
    而后他說(shuō)道:“好了,現(xiàn)在咱們繼續(xù)試一下咱們光刻機(jī)的完整工作流程吧。”
    見(jiàn)到林曉不說(shuō),在場(chǎng)的人心都是癢癢的,他們的林總師,難道真的連最關(guān)鍵的生產(chǎn)工藝都解決了?
    但是沒(méi)辦法,總不能逼林曉說(shuō)吧?
    于是他們也只能在心中吐槽一句林總師不講武德,就喜歡吊人胃口,而后便老老實(shí)實(shí)地按照林曉的要求,開(kāi)始進(jìn)行了對(duì)x光刻機(jī)的第二道檢測(cè)工序。
    如果說(shuō)自檢是光刻機(jī)合格的關(guān)鍵,那么接下來(lái)模擬光刻機(jī)完整工作流程,就是確定其十分能夠達(dá)到設(shè)計(jì)目的的關(guān)鍵了。
    特別是生產(chǎn)效率方面。
    根據(jù)他們的計(jì)算,他們x光刻機(jī)的生產(chǎn)效率,比阿斯麥爾當(dāng)前最先進(jìn)的euv光刻機(jī),要高40%!
    那么,現(xiàn)在開(kāi)始進(jìn)行模擬測(cè)試,能否達(dá)到這種生產(chǎn)效率呢?
    在場(chǎng)的所有人都期待起來(lái)。
    首先是給光刻機(jī)里面放入硅晶圓,很快工作人員推著放置著十塊硅晶圓的推車(chē)來(lái)到了光刻機(jī)的硅晶圓入口,然后依次將這些硅晶圓投入進(jìn)去。
    這些硅晶圓是上硅產(chǎn)業(yè)免費(fèi)提供的,專(zhuān)門(mén)用來(lái)給他們進(jìn)行測(cè)試。
    一年過(guò)去,上硅產(chǎn)業(yè)的硅晶圓產(chǎn)量已經(jīng)到達(dá)了世界前三的程度,正在擴(kuò)建生產(chǎn)線(xiàn),打算和排在前兩名的日本廠家碰一碰,現(xiàn)在也算是財(cái)大氣粗了,之前就表示過(guò),x光計(jì)劃測(cè)試用硅晶圓,要多少塊他們就提供多少塊,都不要錢(qián)。
    對(duì)于上硅產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō),這點(diǎn)硅晶圓當(dāng)然都不算什么,他們也算是投桃報(bào)李了。
    回到x光刻機(jī)中來(lái),隨著硅晶圓放入光刻機(jī)硅晶圓入口之后,內(nèi)部便有一個(gè)機(jī)械手,將第一塊硅晶圓托了起來(lái),當(dāng)然,是從下面托起來(lái),并沒(méi)有傷害到光滑面。
    而后,這個(gè)機(jī)械手就這么托著這塊硅晶圓,轉(zhuǎn)了一圈,然后將其剛好放到了第一個(gè)工作臺(tái)上,隨后這個(gè)工作臺(tái)便進(jìn)入了預(yù)定位置,開(kāi)始了對(duì)硅晶圓的預(yù)掃描。
    掃描了大概八秒鐘之后,這個(gè)工作臺(tái)便結(jié)束了掃描工作,迅速地和另外一個(gè)工作臺(tái)交換了位置,替換了過(guò)去,來(lái)到了rdx純硅晶體透鏡下。
    接下來(lái),就是最關(guān)鍵的時(shí)候來(lái)了,也就是他們的x光能否按照既定圖案,在這個(gè)硅晶圓上刻出來(lái),并且鋪滿(mǎn)650片!
    也就相當(dāng)于650片芯片!
    單片芯片為80平方毫米,他們所用的12英寸硅晶圓面積大概為70659平方毫米,除去邊角料的損耗,最佳方案剛好能夠生產(chǎn)650片芯片!
    當(dāng)然,他們計(jì)劃刻出的芯片很簡(jiǎn)單,或者說(shuō),甚至不能稱(chēng)之為芯片,因?yàn)樗麄冎皇窃谏厦婵坛黾{米級(jí)別的x圖案而已,而他們所使用的光源波長(zhǎng)為3.56納米,這就等于說(shuō),他們?cè)谏厦婺軌蚩坛鼍€(xiàn)條寬度為3.56nm的x,而線(xiàn)條長(zhǎng)度則差不多在35nm左右,是線(xiàn)條寬度的十倍,也就相當(dāng)于,一個(gè)x占據(jù)的面積大概為600平方納米,而這樣一來(lái),一片80平方毫米芯片上,也將緊緊密布高達(dá)1333億個(gè)x!
    這就是人類(lèi)最精密的機(jī)器!
    肉眼無(wú)法見(jiàn)到的x光被激發(fā),通過(guò)rdx純硅晶體透鏡,照在了硅晶圓上面。
    上面已經(jīng)涂抹了華國(guó)早就造出來(lái)的x光光刻膠,然后和x光開(kāi)始發(fā)生了反應(yīng)。
    而工作臺(tái)也帶著硅晶圓滑動(dòng)著,漸漸地,一道道看不見(jiàn)的圖案在上面形成了。
    短短十秒之后。
    光刻完成。
    雙工作臺(tái)帶著這塊硅晶圓來(lái)到了出口處,然后被出口處的機(jī)械手托起來(lái),送出了出口。
    眾人見(jiàn)到出口處被推出來(lái)的硅晶圓,都立馬圍了上去。
    而林曉也走了上去,然后將這塊硅晶圓拿了起來(lái)。
    原本,呈灰黑色的硅晶圓,如今放在燈光之下,竟然冒出了彩色的光輝!
    這正是因?yàn)槠浔砻姹还饪坛鲆磺俣鄡|個(gè)規(guī)整的納米級(jí)x圖案后,光照在上面,發(fā)生了光柵衍射的緣故!
    看著這絢麗的彩色,在場(chǎng)的每個(gè)人,都忍不住露出了醉人、癡迷的眼神。
    多美啊!
    這是他們?cè)斐鰜?lái)的芯片!
    如果按照三星那種充滿(mǎn)了水分的制程標(biāo)法,他們都能夠?qū)⑦@塊芯片的制程說(shuō)成3.56nm!
    看著這塊硅晶圓,林曉甚至想要伸手在上面撫摸一下,但很快,他還是忍住了,然后說(shuō)道:“去檢測(cè)一下良品率。”
    旁邊立馬有人走上前接過(guò)了這塊迷人的硅晶圓,前往了測(cè)試儀器,而很快,他就說(shuō)道:“良品率,100%!”
    在場(chǎng)的人臉上都露出高興的笑容。
    當(dāng)然,他們也只是高興一下,畢竟他們這個(gè)只刻x的芯片,完全沒(méi)有什么難度,100%良品率而已,實(shí)在太正常了。
    不過(guò),這也證明了他們的光刻機(jī)工作起來(lái),是能夠達(dá)到既定要求的。
    此外,這么一會(huì)兒過(guò)去,十塊硅晶圓也早已全部光刻完畢了,工作效率,也達(dá)到了既定目標(biāo)!
    這才是真正讓他們都感到高興的地方。
    現(xiàn)在他們完全可以說(shuō):阿斯麥爾光刻機(jī)也就圖一樂(lè),真要看世界頂級(jí)光刻機(jī),還得是他們x光計(jì)劃!
    在場(chǎng)的每個(gè)人都熱血沸騰了起來(lái),然后再次將目光投向林曉。
    “林總師,咱們接下來(lái)怎么做?”
    林曉微微一笑,走到了一臺(tái)光刻機(jī)旁邊,然后伸出手,輕輕撫摸了一下上面的x標(biāo)志。
    隨后,他轉(zhuǎn)頭看向他們,笑著道:“三天之后,和華威簽訂好協(xié)議,然后,我給你們翻譯一下,什么叫做驚喜!”
    ……
    三天之后,在定光研究所的會(huì)議室中,林曉和從華威遠(yuǎn)道而來(lái)的壬正非一行人進(jìn)行一場(chǎng)“密談”,然后拿到了華威麒麟9000的設(shè)計(jì)圖。
    而隨后,他便開(kāi)始給他們的無(wú)塵車(chē)間置辦“家具”:氧化爐、沉積設(shè)備、蝕刻機(jī)、封裝機(jī)、離子注入機(jī)等等。
    這些東西,正是晶圓制造過(guò)程中不可缺少設(shè)備。
    光刻機(jī)只是其中最精密的設(shè)備而已,也是華國(guó)唯一被卡脖子的設(shè)備,至于其他設(shè)備,國(guó)內(nèi)都能買(mǎi)到。
    當(dāng)然,這些東西,林曉很早就下過(guò)訂單了,所以這些東西基本上一個(gè)周內(nèi)就都能運(yùn)過(guò)來(lái)。
    而在等待這些東西運(yùn)過(guò)來(lái)的時(shí)候,林曉也終于為他們揭曉了謎底,將他當(dāng)初兌換的x光刻機(jī)5nm制程芯片工藝拿了出來(lái),讓x光計(jì)劃中的所有人都好好震驚了幾天,直到一個(gè)周后他們的所有設(shè)備到齊后,才恢復(fù)過(guò)來(lái)。
    然后,每個(gè)人就都滿(mǎn)懷著激動(dòng)的心情,開(kāi)始學(xué)習(xí)林曉拿出來(lái)的這個(gè)工藝,一個(gè)工藝包括了許多環(huán)節(jié),主要就是光刻以及刻蝕的工作。
    一塊硅晶圓,需要重復(fù)進(jìn)行多次光刻以及刻蝕,才能造出最終的成品,經(jīng)過(guò)反復(fù)的光刻與蝕刻,才能形成最終那些復(fù)雜的集成電路。
    而這個(gè)過(guò)程,就是考驗(yàn)技術(shù)的時(shí)候了。
    臺(tái)積電比三星厲害的地方,也就在于他們所設(shè)計(jì)的重復(fù)光刻與蝕刻的工藝,比三星更好!
    至于林曉給出的這個(gè)工藝有多厲害,x光計(jì)劃的人都不知道,但是有總比沒(méi)有好。
    于是,時(shí)間再次悄然過(guò)去。
    而或許是意外,也或許是故意,林曉和華威的那場(chǎng)“密談”的消息,悄然流出了。
    頓時(shí)間,行業(yè)沸騰了。
    各種千奇百怪的消息傳遍了行業(yè),而每個(gè)消息所圍繞的核心就是——
    林曉這個(gè)x光計(jì)劃的總設(shè)計(jì)師,和華威這個(gè)正急需國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的公司,聊了些什么?
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