那位叫小李的年輕人一聽(tīng)頓時(shí)有些手忙腳亂，急急忙忙地從隨身的背包里取取出了一臺(tái)便攜式的空氣檢測(cè)儀器。
    伴隨著“嘀嘀”幾聲響動(dòng)，空氣檢測(cè)儀器開(kāi)始運(yùn)作，儀器上頭的管口開(kāi)始吸收過(guò)濾環(huán)境中的空氣。
    這類空氣檢測(cè)儀器的工作原理，就是在一定時(shí)間內(nèi)吸入固定體積的空氣，通過(guò)檢測(cè)到的微粒數(shù)量來(lái)確定整個(gè)工作環(huán)境的潔凈度。
    只是剛把儀器打開(kāi)沒(méi)多久，那位叫小李的年輕人就出現(xiàn)了皺眉、詫異、最后到一臉驚愕的神情變化。
    “所……所長(zhǎng)，環(huán)境潔凈度超過(guò)1級(jí)了！”小李咽了咽口水，連聲音都有點(diǎn)發(fā)顫。
    如果只是1級(jí)的潔凈度還好，因?yàn)檫@樣的環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)在許多醫(yī)院的無(wú)菌手術(shù)室、半導(dǎo)體工廠內(nèi)都能見(jiàn)到。
    什么是1級(jí)潔凈度？
    就是在1立方米的空間內(nèi)，漂浮著不超過(guò)10個(gè)數(shù)量的0.1微米直徑的顆粒物！
    按照現(xiàn)目前的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度等級(jí)一共分為9級(jí)，每一級(jí)的提升顆粒物的數(shù)量和直徑是呈現(xiàn)逐步減少的，而1級(jí)潔凈度是整個(gè)行業(yè)內(nèi)最高的一套標(biāo)準(zhǔn)。
    這樣的潔凈程度已經(jīng)到了近乎無(wú)菌、無(wú)塵的地步。
    但是根據(jù)儀器上的液晶屏幕顯示，這處地下工事的空氣里居然連1個(gè)顆粒物都沒(méi)有檢測(cè)到。
    這樣恐怖的空氣環(huán)境質(zhì)量，哪怕是國(guó)外最頂尖的芯片制造廠商都無(wú)法做到。
    因?yàn)橹灰腥诉M(jìn)出的地方就容易帶來(lái)懸浮顆粒物，從口鼻呼吸中帶出的水分子到灰塵，再到人體表面附著的細(xì)菌、真菌等等。
    為了解決這種人為帶來(lái)的微粒傳播，各大芯片廠商都會(huì)在自家工廠的出入口設(shè)置數(shù)層的清潔關(guān)卡。
    從靜電除塵到整套的防護(hù)服，能接觸到光刻機(jī)的工作人員每一個(gè)都是全副武裝，包裹地就跟去外太空的航天員一樣，目的就是為了防止污染到光刻機(jī)的工作環(huán)境。
    可是這一套堪比天塹一樣的防護(hù)措施，到了陳決手中就如同擺設(shè)一樣，揮揮手就造出了一個(gè)更高級(jí)的潔凈環(huán)境。
    因?yàn)閺乃讣饷俺龅碾姽猓粏螁问菍⒖諝饫锏幕覊m、懸浮物都吸附清除，就連那些肉眼無(wú)法看見(jiàn)的水分子、細(xì)菌、病毒都在一瞬間被強(qiáng)電場(chǎng)擊穿化作了原子形態(tài)吸入了墻壁、地面之中。
    在強(qiáng)大的【物質(zhì)干涉】技能下，只要陳決愿意，這間地下工事內(nèi)的所有物質(zhì)都能粉碎成原子，更別提這些直徑在微米級(jí)的顆粒物了。
    “連一個(gè)顆粒物都檢測(cè)不出來(lái)？”
    “這樣的潔凈程度，就算是AMSL的核心實(shí)驗(yàn)室都沒(méi)辦法做到！”光電所的這群科研人員議論紛紛。
    這樣巨大而夸張的轉(zhuǎn)變，自然是看地林衛(wèi)國(guó)等人心神震動(dòng)，盯著檢測(cè)儀器上那一長(zhǎng)串的數(shù)字零久久不語(yǔ)。
    再加上陳浩剛剛手搓的一層全環(huán)繞式的環(huán)氧防靜電涂層，原本落后、滿是灰塵的這處地下工事在眨眼的功夫內(nèi)就擠身進(jìn)了全世界最頂級(jí)的潔凈室。
    這樣的能力，已經(jīng)不能用常理去解釋，已經(jīng)徹底超出了現(xiàn)有科學(xué)技術(shù)的理解范疇。
    ……
    解決完了光刻機(jī)生產(chǎn)的環(huán)境問(wèn)題，陳決感受到了來(lái)自林衛(wèi)國(guó)等人投遞來(lái)的熾熱目光。
    沒(méi)有過(guò)多解釋，走上前將面前的幾個(gè)巨大物資集裝箱給打開(kāi)，里面密密麻麻擺放著制造光刻機(jī)的各類原料。
    從特制的高壓輸送電纜，再到精密度極高的激光鏡片，還有數(shù)臺(tái)用來(lái)制造光刻機(jī)零部件的3D打印機(jī)器。
    在得到上頭的通知后，光電所幾乎將手里的好東西都拿了出來(lái)，許多物資都是實(shí)驗(yàn)室保密級(jí)別的，隨便拿出去一件都足以在市面上申請(qǐng)保護(hù)專利。
    當(dāng)然了，想要制造出原子級(jí)精度的光刻機(jī)并不是那么一件容易的事情。
    要知道，就算是現(xiàn)目前的ASML公司都只掌握2.5納米的光刻精度，原子級(jí)精度相當(dāng)于在ASML公司現(xiàn)有的精度基礎(chǔ)上進(jìn)一步提升25倍。
    按照集成電路產(chǎn)業(yè)里的摩爾定律進(jìn)行推算，想要將半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的精度提升一倍所需的時(shí)間最少要經(jīng)過(guò)18個(gè)月到24個(gè)月。
    在原有基礎(chǔ)上提升25倍精度，如果交給ASML這類公司去研發(fā)那就是需要半個(gè)世紀(jì)。
    這里頭的技術(shù)差距已經(jīng)不能簡(jiǎn)單地用時(shí)間去衡量了，想要實(shí)現(xiàn)彎道超車也只有陳決這樣開(kāi)了掛的人出手才行！
    ……
    看著面前堆積如山的材料，陳決先是摸了摸下巴陷入了短暫的沉思之中，隨后又從智能腕表中調(diào)取出了光電所發(fā)來(lái)的幾種光刻機(jī)設(shè)計(jì)圖紙。
    要知道，光刻機(jī)的運(yùn)作原理無(wú)非就是將波長(zhǎng)較短的光源照射在涂抹了光刻膠的圓晶上，形成一道道細(xì)小的晶體管電路。
    光刻機(jī)中最核心的原件就是激光光源，激光發(fā)射的光源波長(zhǎng)越短，最終得到的芯片精度就越高。
    至于市面上掌握著最先進(jìn)激光鏡頭的并不是人們熟知的ASML公司，而是腳盆雞兩家公司：尼康和佳能。
    這里就不得不提一下，上世紀(jì)末腳盆雞在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域可是強(qiáng)大到號(hào)稱半導(dǎo)體帝國(guó)，在內(nèi)存和芯片領(lǐng)域一度占據(jù)著全世界80%的份額。
    當(dāng)時(shí)在光刻機(jī)制造這一塊，哪有風(fēng)車國(guó)的ASML公司什么事？這貨完全就是個(gè)小透明，壓根就在半導(dǎo)體領(lǐng)域里排不上號(hào)！
    整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全靠尼康和佳能撐著，說(shuō)他們是雙雄爭(zhēng)“爸”都不為過(guò)。
    不過(guò)爭(zhēng)著爭(zhēng)著，這個(gè)“爸”就真的來(lái)了。
    這個(gè)“爸”不是別人，就是大洋彼岸的鷹國(guó)！
    鷹國(guó)一看尼康和佳能兩家公司在光刻機(jī)領(lǐng)域里打出了狗腦，上來(lái)就直接勸和：“你倆別爭(zhēng)了，爸來(lái)了。”
    隨后就是一套祖?zhèn)鞯娜検桨匀Z了上去，直接給兩家公司開(kāi)出了反傾銷罰單外加開(kāi)放核心專利技術(shù)，順帶給腳盆雞整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開(kāi)出了百分百關(guān)稅的罰單。
    這樣一套喜聞樂(lè)見(jiàn)的組合拳下去后，直接把腳盆雞的芯片產(chǎn)業(yè)干廢了一半。
    而進(jìn)入21世紀(jì)后，隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的升級(jí)，各大廠商對(duì)于光刻機(jī)的精度要求越來(lái)越高。
    在挨了一招鷹式霸拳只剩下半條命的尼康和佳能，則是因?yàn)榧夹g(shù)儲(chǔ)備不足外加不敢創(chuàng)新，一直被卡在了193納米精度寸進(jìn)不得。
    因?yàn)槟峥岛图涯苤圃斓墓饪虣C(jī)是傳統(tǒng)的干式光刻機(jī)，受限于摩爾定律的約束，想要提升光刻精度就只能繼續(xù)打磨激光鏡片。
    但是精度加工這玩意兒，越到后面進(jìn)步水平就越慢。
    如此干耗了幾年，一直到灣積電拿出了一個(gè)取巧的解決方案：那就是在激光發(fā)出的瞬間，利用水珠進(jìn)行折射，將激光的波長(zhǎng)縮短。
    起初尼康和佳能的工程師聽(tīng)到這個(gè)方案，都覺(jué)得這玩意兒不是扯犢子嗎？
    畢竟光刻機(jī)是非常精密的儀器，在里面灌入水后，沒(méi)有人能保證光刻機(jī)是否還能繼續(xù)運(yùn)行，也就沒(méi)有采納這個(gè)方案。
    湊巧風(fēng)車國(guó)的ASML公司一聽(tīng)到這個(gè)方案后如獲至寶，召集了一群工程師在鼓搗出了后來(lái)著名的浸潤(rùn)式光刻機(jī)。
    當(dāng)然了，這里面還有鷹國(guó)為ASML公司提供了核心技術(shù)，順便召集了數(shù)個(gè)國(guó)家的國(guó)家級(jí)實(shí)驗(yàn)室參與到了浸潤(rùn)式光刻機(jī)的研發(fā)，這才有了后來(lái)極紫外光，俗稱EUA光光刻機(jī)的誕生。
    而讓陳決現(xiàn)目前感到糾結(jié)的是：“到底是采用傳統(tǒng)的干式光刻機(jī)還是取巧的浸潤(rùn)式光刻機(jī)？”
    好在這種糾結(jié)只持續(xù)了半分鐘，在瀏覽完光電所提供的設(shè)計(jì)方案后，陳決就嘴里嘟囔道：“一鳥(niǎo)在手勝過(guò)百鳥(niǎo)在林！”
    “直接上干式的，原理更簡(jiǎn)單，想要被仿制更不容易。”
    說(shuō)完陳決就五指一張，從指尖冒出的金色電光像是鎖鏈一樣，一下子罩住了面前數(shù)個(gè)大型物資箱。
    伴隨著電漿能量的大功率輸入，以及【物質(zhì)干涉】的能力影像下，那些原本冷冰冰的電纜、鏡片、金屬、橡膠等材料像是活了過(guò)來(lái)一樣，猶如一塊塊樂(lè)高積木，開(kāi)始按照陳決的思路拼湊出了一臺(tái)純白色的長(zhǎng)方體光刻機(jī)。
    光刻機(jī)的原型是參照了光電所的設(shè)計(jì)方案，不過(guò)為了保險(xiǎn)起見(jiàn)，陳決加強(qiáng)了內(nèi)部的供電系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
    而在光刻機(jī)的核心激光部件處，一塊細(xì)小到連普通電子顯微鏡都難以看見(jiàn)的超微型激光鏡頭正在金色能量的干涉下一點(diǎn)點(diǎn)構(gòu)筑了出來(lái)。
    今天第一更~前面兩天有事耽誤了一下。
    (本章完)