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第二百三十八章 舌戰(zhàn)群儒

    老人開口道:“各位尊敬的科學(xué)家,上午好,大家時(shí)間都很寶貴,我也就長話短說,簡單談一談本場(chǎng)會(huì)議的目的。”</br>  “近年來,我們一直在往半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行發(fā)展,到了今天也有了一定豐碩的成果,前段時(shí)間,在林曉先生的主導(dǎo)下,我們先后在多個(gè)技術(shù)上都實(shí)現(xiàn)了突破,特別是硅晶圓生產(chǎn)技術(shù)得到了重大突破,達(dá)到了世界一流的程度。”</br>  說到這,他朝林曉點(diǎn)點(diǎn)頭,隨后繼續(xù)道:“半導(dǎo)體技術(shù)的研究是重中之重,未來我們也需要在這個(gè)技術(shù)上實(shí)現(xiàn)更多的創(chuàng)新。”</br>  “現(xiàn)在,大家可以談?wù)勛约旱目捶ǎ務(wù)勀銈兏鞣郊夹g(shù)有哪些新的突破,討論一下我們接下來應(yīng)該往哪個(gè)方向發(fā)展。”</br>  隨著老人的話說完,在場(chǎng)的人便開始議論起來。</br>  半晌后,華芯國際的專家舉起了手,說道:“近期以來,我們?cè)谛酒a(chǎn)工藝上實(shí)現(xiàn)了一次關(guān)鍵性的突破,距離12nm制程又近了一步,這一方面我們需要更多的研發(fā)投入。”</br>  “我認(rèn)為,我們?cè)谏a(chǎn)工藝上還是要加大投入,畢竟造出我們自己的光刻機(jī)仍然還遙遙無期,還不如先想辦法怎么將DUV光刻機(jī)鉆研到極限。”</br>  這話一說出來,其他人就不愿意了。</br>  比如電科集團(tuán)、常春光機(jī)所、魔都微電子,這三家都是接到了研發(fā)光刻機(jī)任務(wù)的,華芯國際提倡要大力搞生產(chǎn)工藝,他們當(dāng)然就不愿意了。</br>  于是這三家公司立馬就表示了反對(duì)。</br>  “搞不出來就不搞?你也不看看咱們現(xiàn)在因?yàn)闆]有搞這些東西都損失多少了。”</br>  “你說搞生產(chǎn)工藝,也沒見你們搞定多少啊?人家臺(tái)積電別說14nm了,12nm、10nm的工藝都有,不求你們跟上7nm,但好歹也不至于落后這么多代吧?”</br>  ……</br>  雙方說的話都很不客氣,自然而然的,就直接開始吵了起來。</br>  當(dāng)然,畢竟是這種場(chǎng)合,他們吵起來也都是指責(zé)對(duì)方在技術(shù)發(fā)展上的問題。</br>  不過他們吵的時(shí)候,又有人表示:“我覺得,我們是不是應(yīng)該在材料上再下點(diǎn)功夫?”</br>  在場(chǎng)的人還是有不少是生產(chǎn)材料的,聽到有人提到這一點(diǎn),頓時(shí)就紛紛附和起來。</br>  “對(duì),材料上應(yīng)該也需要著重發(fā)展!”</br>  會(huì)議室中再一次多出了一個(gè)聲音。</br>  這就是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,每一環(huán)都緊密相連,每一環(huán)之間都有著較大的技術(shù)壁壘。</br>  就在這些人爭論的時(shí)候,忽然有人拍了拍手,眾人看去,正是馬局長。</br>  對(duì)于這位科技局局長,在座的人們都還是有保持著尊敬的態(tài)度的,于是乎也都安靜了下來,等待他說話。</br>  馬高亮則只是笑了笑,然后說道:“大家說的都很有道理,不過大家也知道,咱們想要跟上國外,各個(gè)環(huán)節(jié)也都還相差甚遠(yuǎn),現(xiàn)在咱們也就只是在硅晶圓生產(chǎn)這上面來到了世界一流的地位。”</br>  “所以我想,咱們要不要先聽聽林教授的看法?”</br>  聽到這,在場(chǎng)的專家們都安靜了下來。</br>  不管如何,光憑林曉最近的這個(gè)成就,也值得他們認(rèn)真對(duì)待一下。</br>  于是所有人都將目光看向了坐在前面的林曉。</br>  而林曉對(duì)于突然輪到自己講話感到有些意外,不過,他早就準(zhǔn)備著要分享一下他的想法了,所以他絲毫不著急。</br>  身體坐好,他先朝右手邊的老人微微一笑,然后重新轉(zhuǎn)頭看向了在場(chǎng)的人們,隨后道:“我的看法,就是兩手都要抓,兩手都要硬。”</br>  “當(dāng)然,這句話用到整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈中,就是整條產(chǎn)業(yè)鏈,都要抓牢。”</br>  在場(chǎng)的人頓時(shí)都是一愣,</br>  林曉的意思是?</br>  他覺得所有的方向都要發(fā)展?</br>  在場(chǎng)的人們都不由搖搖頭,他們還以為林曉能說出什么讓人眼前一亮的想法呢,結(jié)果現(xiàn)在這么說,在所有人看來明顯就是那種誰都不想得罪,保持中庸的態(tài)度。</br>  不過,林曉真的是這個(gè)打算嗎?</br>  說完這句話后,他站了起來。</br>  “半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)完整的產(chǎn)業(yè)鏈,產(chǎn)業(yè)鏈中的每一個(gè)部分都占據(jù)著十分重要的作用,而我們既然有我們特殊的體制,我們可以形成一盤棋來進(jìn)行,那么,我覺得應(yīng)該組成一個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟,集中調(diào)配各方資源,來更好地發(fā)展我們的整個(gè)產(chǎn)業(yè)。”</br>  “而現(xiàn)在,我們的硅晶圓生產(chǎn)已經(jīng)完成了突破,同時(shí),因?yàn)榫幋a器八分結(jié)構(gòu)的出現(xiàn),我們的精密加工技術(shù)也得到了一次突破,而剩下的,就是繼續(xù)更加深入的去挖掘。”</br>  “在這里,我首先對(duì)光刻機(jī)所要用到的光學(xué)鏡片生產(chǎn)技術(shù)如何實(shí)現(xiàn)突破,進(jìn)行一個(gè)簡單的講述。”</br>  說到這,林曉朝羅剛憲微微一笑,羅剛憲卻是一愣,林曉要說他們的光學(xué)鏡片?</br>  林曉說道:“如何讓光學(xué)鏡片更加精密,無非就是將鏡片表面那些凸起的粒子給弄走。”</br>  “我們能夠利用激光干涉儀,找到這些凸起的粒子,接下來針對(duì)這些凸起粒子的凸起量,莪們就可以用離子束轟擊這些凸起的粒子,然后將我們的鏡片給‘敲’平。”</br>  “這樣一來,我們的鏡片就能變得無比地平整起來。”</br>  聽到林曉的想法,羅剛憲便忍不住說道:“這……這應(yīng)該做不到吧?激光干涉儀得到的表面的粗糙度數(shù)據(jù),我們只能進(jìn)行統(tǒng)計(jì),但是還無法具體去判斷要怎么用離子束去轟擊啊!而且,硅原子半徑都經(jīng)到100多皮米了,直徑等于兩百多皮米,而我們需要的是100皮米以下的級(jí)別,如果是離子轟擊,直接把表面原子給轟擊掉了,留下的可能就是一個(gè)一百多皮米的坑,這樣還是達(dá)不到光刻機(jī)鏡片的要求!”</br>  林曉說的確實(shí)是一個(gè)很好的方法,但這是從理論上來說,他作為專業(yè)的,心中完全不相信這一點(diǎn)能夠做到。</br>  林曉只是笑了笑,說道:“我可沒有說要把這些凸起的粒子給轟掉啊,羅院士。”</br>  “我說的是‘敲平’!”</br>  “我們只需要就算好轟擊角,控制住水平和垂直上的分力,我們完全可以實(shí)現(xiàn)其表面的平坦化。”</br>  “而且,我們所謂的原子半徑,其實(shí)只是原子軌道半徑而已,在受力范圍上,它們可不是一個(gè)球,用離子束去轟擊,也只是他們之間的電磁力罷了。”</br>  “以前的離子拋光技術(shù),使用的是氬等離子體,在轟擊的時(shí)候,我們考慮其電荷量,就能夠?qū)崿F(xiàn)了。”</br>  聽到這,羅剛憲頓時(shí)感到不可思議,這么說的話,似乎真的可行?</br>  但是經(jīng)過片刻的思考后,微微搖頭道:“這做不到吧,這在數(shù)學(xué)上無法實(shí)現(xiàn)!你怎么計(jì)算出轟擊角?”</br>  林曉卻是一笑:“只是一道數(shù)學(xué)問題而已,我最不怕的就是數(shù)學(xué)問題。”</br>  “這……”</br>  羅剛憲話語一滯。</br>  只是一道數(shù)學(xué)問題?</br>  而已?</br>  他不知道怎么說了,但是看著林曉的樣子,他卻找不到繼續(xù)質(zhì)疑的理由。</br>  似乎,真的可以這么做?</br>  如果他們能夠計(jì)算出離子束轟擊角,似乎確實(shí)完全有可能將那些粒子給“敲”進(jìn)去?</br>  其實(shí),這就類似于一種離子拋光技術(shù),只不過相比較那些比較常見的離子拋光技術(shù),他們的這個(gè)技術(shù)對(duì)精細(xì)度要求的高了一點(diǎn)點(diǎn)。</br>  而解決這個(gè)問題,最重要的可不就是數(shù)學(xué)問題?</br>  想到這,他看著已經(jīng)走到了橢圓桌另外一邊的林曉,站起來說道:“林教授,你說服了我,我們合作吧。”</br>  林曉笑了笑,說道:“當(dāng)然可以,只不過……”</br>  他看了一眼在場(chǎng)的所有人,說道:“各位,我剛才說了,我們要成立一個(gè)聯(lián)盟,所以,我想和你們所有人一起合作。”</br>  “而你們?cè)诩夹g(shù)上遇到的問題,都可以來找我合作研究。”</br>  聽到這,在場(chǎng)的人頓時(shí)都瞪大了。</br>  林曉這話,是打算把他們所有人背后所代表的機(jī)構(gòu)企業(yè)拉到一起?</br>  他甚至還說,技術(shù)上遇到了問題,都可以去找他合作?</br>  雖然林曉解決了CMP材料技術(shù),還有硅晶圓提純技術(shù),甚至還在編碼器精度上實(shí)現(xiàn)了重大突破,完全可以稱之為全能性人才。</br>  但是他們?cè)趫?chǎng)的那么多行業(yè),林曉如何做到全能?</br>  有人立馬表示了反對(duì):“林教授,你的提議很不錯(cuò),但是你知道極紫外光光源問題如何解決嗎?這是我們想問你的第一個(gè)問題。”</br>  林曉一笑:“極紫外光光源,用的無非就是準(zhǔn)分子激光照射在錫靶材上,退激產(chǎn)生極紫外光,而我們要做的就是提高其功率。”</br>  “這一點(diǎn),我們只需要控制錫靶材和準(zhǔn)分子激光的功率,實(shí)現(xiàn)錫靶材能夠更大的接受準(zhǔn)分子激光照射率,就能夠?qū)崿F(xiàn)更強(qiáng)的退激效應(yīng)。”</br>  “關(guān)于如何實(shí)現(xiàn)錫靶材更高地接受照射率,這一點(diǎn)需要數(shù)學(xué)計(jì)算和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,數(shù)學(xué)方面的問題,對(duì)我來說同樣不是問題,所以你們和我合作之后,我們同樣也有機(jī)會(huì)實(shí)現(xiàn)突破。”</br>  “另外,還有我們對(duì)EUV光的采集效率,這一點(diǎn),只要能夠?qū)崿F(xiàn)我剛才所說的對(duì)鏡片的更精密加工,我們采集效率完全可以再次增大,進(jìn)而提高功率。”</br>  聽到林曉的回答,那個(gè)反對(duì)的人又是啞口無言,因?yàn)樗l(fā)現(xiàn)自己居然被林曉說動(dòng)了。</br>  如果真的能夠和林曉合作的話,他們的問題是不是真的能夠得到解決?</br>  而這時(shí)候,又有人提問了:“林教授,光路系統(tǒng)呢?”</br>  林曉再一次笑道:“光路系統(tǒng),首先是我們的精密控制領(lǐng)域需要突破,而我相信,現(xiàn)在我們已經(jīng)有這樣的機(jī)會(huì)了。”</br>  “接下來還是一個(gè)數(shù)學(xué)問題,相信我,只要涉及到了數(shù)學(xué)問題,都不是問題。”</br>  在場(chǎng)的人都不知道說什么了。</br>  數(shù)學(xué)問題?</br>  他們的這些問題,除了材料問題、精密加工問題,剩下的可不就是數(shù)學(xué)問題嗎?</br>  許多人都不知道再去怎么問了。</br>  當(dāng)然,那些研究材料的人就有話說了:“我們光刻膠呢?”</br>  林曉說道:“CMP拋光材料,我花了兩個(gè)月的時(shí)間就給解決了,其他的材料雖然我不敢保證,但是說不定我運(yùn)氣好之下,就也解決了呢?”</br>  “啊這……”</br>  “林教授,還有我們……”</br>  ……</br>  林曉一個(gè)個(gè)的進(jìn)行著回答,同時(shí)也一個(gè)個(gè)地將他們說服。</br>  就如同舌戰(zhàn)群儒一般。</br>  成立這樣一個(gè)聯(lián)盟的想法,他早就有了。</br>  而如今,他在半導(dǎo)體上的成就,讓他有了這樣的榮譽(yù)去提起這件事情。</br>  今天這場(chǎng)會(huì)議,正好給了他提出這個(gè)想法的機(jī)會(huì)。</br>  就這樣,在場(chǎng)的人在他的話語中,臉上都露出了意動(dòng)的表情。</br>  似乎都被他說服了。</br>  見到這一幕,林曉宋目光認(rèn)真地道:“我不是想要搶各位的東西,只是覺得我們有必要建立起這樣的一個(gè)聯(lián)盟,更好地調(diào)動(dòng)我們資源。”</br>  “朋友們,我們距離國外還有差距,合作是更加應(yīng)該的。”</br>  “在這里,我不希望和大家爭論。”</br>  “同時(shí),也請(qǐng)大家相信我,我也有這個(gè)信心。”</br>  會(huì)議室中安靜了片刻。</br>  光電所所長,羅剛憲院士說道:“我同意。”</br>  有了人開頭,原本還搖擺不定的其他人,也紛紛說道:“我們也同意。”</br>  “同意。”</br>  這件事情,對(duì)他們也沒有利益上的影響,只是嫌麻煩,不認(rèn)為加入之后對(duì)他們有什么意義。</br>  但現(xiàn)在,林曉已然說服了他們。</br>  而見到這些人居然真的都同意了,馬高亮忍不住看向林曉,目光中多出了佩服。</br>  能夠說服這么多人的,恐怕也只有林曉有這個(gè)能力。</br>  而那位一直沒有說話的老人,看著林曉的目光中也多出了許多的欣賞。</br>  而后,他說道:“很好,各位能夠?qū)崿F(xiàn)合作,我很高興,那么,我就作為一個(gè)見證者,為你們的這個(gè)聯(lián)盟起個(gè)名吧。”</br>  聽到老人的話,林曉笑道:“這當(dāng)然最好了。”</br>  老人笑道:“那就叫華芯盟好了,簡單直接一點(diǎn)。”</br>  “另外,林教授,在之后如果有什么需要,聯(lián)系高亮就行,我讓他全力配合你們。”</br>  “好!”</br>  林曉重重點(diǎn)頭。</br>  ……
    三月,初春。</p>
    南凰洲東部,一隅。</p>
    陰霾的天空,一片灰黑,透著沉重的壓抑,仿佛有人將墨水潑灑在了宣紙上,墨浸了蒼穹,暈染出云層。</p>
    云層疊嶂,彼此交融,彌散出一道道緋紅色的閃電,伴隨著隆隆的雷聲。</p>
    好似神靈低吼,在人間回蕩。</p>
    ,。血色的雨水,帶著悲涼,落下凡塵。</p>
    大地朦朧,有一座廢墟的城池,在昏紅的血雨里沉默,毫無生氣。</p>
    城內(nèi)斷壁殘?jiān)f物枯敗,隨處可見坍塌的屋舍,以及一具具青黑色的尸體、碎肉,仿佛破碎的秋葉,無聲凋零。</p>
    往日熙熙攘攘的街頭,如今一片蕭瑟。</p>
    曾經(jīng)人來人往的沙土路,此刻再無喧鬧。</p>
    只剩下與碎肉、塵土、紙張混在一起的血泥,分不出彼此,觸目驚心。</p>
    不遠(yuǎn),一輛殘缺的馬車,深陷在泥濘中,滿是哀落,唯有車轅上一個(gè)被遺棄的兔子玩偶,掛在上面,隨風(fēng)飄搖。</p>
    白色的絨毛早已浸成了濕紅,充滿了陰森詭異。</p>
    渾濁的雙瞳,似乎殘留一些怨念,孤零零的望著前方斑駁的石塊。</p>
    那里,趴著一道身影。</p>
    這是一個(gè)十三四歲的少年,衣著殘破,滿是污垢,腰部綁著一個(gè)破損的皮袋。</p>
    少年瞇著眼睛,一動(dòng)不動(dòng),刺骨的寒從四方透過他破舊的外衣,襲遍全身,漸漸帶走他的體溫。</p>
    可即便雨水落在臉上,他眼睛也不眨一下,鷹隼般冷冷的盯著遠(yuǎn)處。</p>
    順著他目光望去,距離他七八丈遠(yuǎn)的位置,一只枯瘦的禿鷲,正在啃食一具野狗的腐尸,時(shí)而機(jī)警的觀察四周。</p>
    似乎在這危險(xiǎn)的廢墟中,半點(diǎn)風(fēng)吹草動(dòng),它就會(huì)瞬間騰空。</p>
    而少年如獵人一樣,耐心的等待機(jī)會(huì)。</p>
    良久之后,機(jī)會(huì)到來,貪婪的禿鷲終于將它的頭,完全沒入野狗的腹腔內(nèi)。</br>,,。,。</br>

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